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早期的石英坩堝是全部透明的,最早期的石英坩堝是全部的透明的結(jié)構(gòu),這種透明的結(jié)構(gòu)卻容易引起導(dǎo)致不均勻的熱傳輸條件,增加晶棒生長的困難度?!?/span>
1、現(xiàn)代拉單晶的石英坩堝一般是采用電弧法生產(chǎn),半透明狀,是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。
2、現(xiàn)代的石英坩堝則存在二種結(jié)構(gòu),外側(cè)是一層具有高氣泡密度的區(qū)域,稱為氣泡復(fù)合層,內(nèi)側(cè)則是一層3~5mm的透明層,稱之為氣泡空乏層。
3、氣泡復(fù)合層的目的是在與均勻的輻射有加熱器所提供的輻射熱源。
石英坩堝采用國內(nèi)先進制堝離心機,用玻璃制子離心手工成型,用石墨電極、低壓大電流電弧燒制(溫度達(dá)到2000多度)